|
libcats.org
Технология тонких пленок. СправочникМайссел Леон, Под редакцией Л.Майссела, Р.Глэнга. Перевод с английского Под редакцией М.И.Елинсона, Г.Г.Смолко.Справочник по технологии тонких пленок' наиболее современное и фундаментальное издание, посвященное тонким пленкам твердых веществ, находящим широкое применение в микроэлектронике, оптике, магнитной технике, СВЧ и космической технике и др. Справочник издается в двух томах. В т. 1 включены гл. 1?7, в т. 2' гл. 8?21. В т. 2 справочника рассмотрены особенности тонких пленок: их рост и структура, методы ее исследования, толщина и химический состав пленок, а также зависимость их структуры от технологии. Излагаются физические свойства полупроводниковых диэлектрических, ферромагнитных, пьезоэлектрических и сверхпроводящих пленок и зависимость параметров пленок от технологии. Отражены также основные направления применения тонких пленок в интегральных микросхемах, СВЧ устройствах, создании дискретных электронных элементов. Книга является универсальным справочным пособием для широкого круга инженеров и конструкторов радиоэлектродной аппаратуры, разработчиков интегральных микросхем и радиоэлектронных элементов, научных работников, аспирантов и студентов, специализирующихся в области микроэлектроники, физики и технологии изготовления тонких пленок.
Популярные книги за неделю:
#3
Самодельные детали для сельского радиоприемникаАвторы: З.Б.Гинзбург, Ф.И.Тарасов.Категория: радиоэлектроника
1.40 Mb
#10
Вероятность и статистика. 10-11 классыБродский И.Л., Мешавкина О.С.Категория: M_Mathematics, MSch_School-level
1.24 Mb
Только что пользователи скачали эти книги:
#1
Электрические машины. Асинхронные машиныАвторы: В.И.Радин, Д.Э.Брускин, А.Е.Зорохович. Под редакцией И.П.Копылова.Категория: Энергетика
2.51 Mb
#3
Руководство к практическим занятиям по нервным болезнямБогородинский Д.К.Категория: 1609595-
7.70 Mb
#7
К пятёрке шаг за шагом, или 50 занятий с репетитором. Русский язык. 8 классАхременкова Л. А.
2.66 Mb
#9
Метод собственных векторных функций в пространственных задачах теории упругостиУлитко А. Ф.
3.21 Mb
|
|