|
libcats.org
Semiconductor Manufacturing TechnologyMichael Quirk, Julian SerdaIn this book, Quirk and Serda introduce the terminology, concepts, processes, products, and equipment commonly used in the manufacture of ultra large scale integrated (ULSI) semiconductors. The book provides helpful, up-to-date technical information about semiconductor manufacturing and strikes an effective balance between the process and equipment technology found in wafer fabrications. Topics include copper interconnect; dual damascene additive process for metallization; deep UV sub-micron photolithography (.18 micron and below); low-k dielectric processing; chemical mechanical planarization; a comprehensive model of manufacturing process; chemical-mechanical polish (CMP); and maintenance and troubleshooting. For practicing semiconductor manufacturing technicians or those interested in semiconductor manufacturing technology and processes. Ссылка удалена правообладателем ---- The book removed at the request of the copyright holder.
Популярные книги за неделю:
#3
Самодельные детали для сельского радиоприемникаАвторы: З.Б.Гинзбург, Ф.И.Тарасов.Категория: радиоэлектроника
1.40 Mb
#10
Вероятность и статистика. 10-11 классыБродский И.Л., Мешавкина О.С.Категория: M_Mathematics, MSch_School-level
1.24 Mb
Только что пользователи скачали эти книги:
#5
Готовимся к единому государственному экзамену. ХимияГабриелян, Решетов, и др.Категория: Химия
460 Kb
#6
Бюджетирование деятельности промышленных предприятий РоссииЩиборщ К.В.Категория: Бизнес книги
5.00 Mb
#7
основания геометрииГильберт ДКатегория: 1735447-Личный сборник книг по математке, Геометрия
3.22 Mb
|
|