|
libcats.org
Post-Processing Techniques for Integrated MEMSSherif SedkySedky (physics, The American University, Cairo, Egypt) investigates the possibility of developing high-quality MEMS structural layers at temperatures compatible with the standard CMOS backend. He first reviews MEMS fabrication technologies, then defines the maximum thermal budget that can be accommodated by prefabricated standard electronics. He highlights the features of different materials suitable for MEMS, and discusses the effect of deposition conditions and the type of substrate on the physical properties of the different materials. Silicon germanium as a MEMS structural layer is also discussed in detail.
Ссылка удалена правообладателем ---- The book removed at the request of the copyright holder.
Популярные книги за неделю:
#3
Самодельные детали для сельского радиоприемникаАвторы: З.Б.Гинзбург, Ф.И.Тарасов.Категория: радиоэлектроника
1.40 Mb
#10
Вероятность и статистика. 10-11 классыБродский И.Л., Мешавкина О.С.Категория: M_Mathematics, MSch_School-level
1.24 Mb
Только что пользователи скачали эти книги:
#2
Записка о ритуальных убийствахДаль Владимир ИвановичКатегория: Русская классическая проза
187 Kb
#4
Владислав Лебедько. Хроники российской Саньясы (Из жизни Российских мистиков: Мастеров и Учеников (1960-х - 1990-х)
759 Kb
#5
Введение в общую психологию - МКолесов Д.В.Категория: Психология теоретическая учебная литература
527 Kb
#6
Вопросы и ситуационные задачи по патологической физиологииН.П. Чеснокова, С.О. БерсудскийКатегория: Медицина, Патофизиология
6.94 Mb
#8
Современная инфузионная терапия. ПарентеральноеХАРТИГ В.Категория: 2208513-Библиотека анестезиология
4.08 Mb
|
|