Рассмотрены физико-химические основы процессов корпускулярно-фотонных технологий, типовые установки, конкретные технологические процессы и примеры их реализации. Учебное пособие предназначено для студентов, обучающихся по специальностям ''Материалы и компоненты твердотельной электроники'' и ''Химическая технология материалов и изделий электронной техники''
