Учебное пособие, посвященное электрофизическим методам исследования МДП-структур, подготовлено на кафедре физики полупроводников и микроэлектроники физического факультета Воронежского государственного университета. Рекомендуется для студентов 4 курса специальности ''Микроэлектроника и полупроводниковые приборы''