Атомно-силовой микроскоп позволил рассмотреть на поверхности растущих кристаллов элементарные процессы кристаллизации: формирование дислокационных холмиков, структуру ступеней, ограничивающих ростовые слои высотой в несколько ангстрем, присоединение к изломам на ступенях строительных единиц кристалла. Это дало новый толчок к развитию теории и практики выращивания совершенных монокристаллов
