libcats.org
Главная

Поверхностные фазы и выращивание микроэлектронных структур на кремнии

Поверхностные фазы и выращивание микроэлектронных структур на кремнии

Описаны условия формирования поверхностных фаз на кремнии в сверхвысоком вакууме. Обсуждается построение диаграмм различных поверхностных фаз. Статья содержит обзор данных об образовании двух- и трехкомпонентных поверхностных фаз на кремнии при процессах соадсорбции. Рассмотрены результаты изучения дельта-легирования, в котором дельта-легированные слои суть поверхностные фазы
EPUB | FB2 | MOBI | TXT | RTF
* Конвертация файла может нарушить форматирование оригинала. По-возможности скачивайте файл в оригинальном формате.
Популярные книги за неделю:
#5

ВАЗ 2110i, -2111i, -2112i

Категория: civil, civil, transport
57.35 Mb
Только что пользователи скачали эти книги: